通過掃描電鏡，可以通過能譜分析（EDS）獲得樣品的局部化學(xué)成分信息。EDS是一種常用于SEM掃描電鏡的技術(shù)，用于確定樣品中元素的組成和分布情況。以下是通過掃描電鏡獲得樣品的局部化學(xué)成分信息的步驟：

準(zhǔn)備樣品： 在進行EDS分析之前，樣品通常需要進行準(zhǔn)備工作。對于非導(dǎo)電樣品，可能需要進行金屬涂覆，以提供導(dǎo)電性，確保在SEM掃描電鏡中獲得穩(wěn)定的成像和EDS信號。對于導(dǎo)電樣品，通?？梢灾苯舆M行分析。

選擇感興趣區(qū)域： 在掃描電鏡成像中，首先選擇感興趣的局部區(qū)域，也就是希望進行化學(xué)成分分析的區(qū)域。

EDS數(shù)據(jù)采集： 一旦選擇了感興趣的區(qū)域，可以通過SEM掃描電鏡系統(tǒng)中的EDS探測器對該區(qū)域進行化學(xué)成分的數(shù)據(jù)采集。當(dāng)高能電子束與樣品表面相互作用時，樣品會發(fā)射出特征性X射線，這些X射線的能量與樣品中的元素成分相關(guān)。

數(shù)據(jù)分析和化學(xué)成分識別： 采集到的EDS數(shù)據(jù)需要進行分析和處理。通過比較樣品發(fā)射的特征性X射線的能量和強度與標(biāo)準(zhǔn)參考庫中的數(shù)據(jù)，可以確定樣品中的元素組成?，F(xiàn)代掃描電鏡系統(tǒng)通常配備了強大的軟件，能夠自動識別元素，并生成化學(xué)成分分布圖。

成像和譜圖結(jié)合： 在SEM掃描電鏡成像中，可以將局部化學(xué)成分信息與樣品的形貌結(jié)合起來。這樣，可以在同一個圖像中觀察樣品的形貌和局部化學(xué)成分分布。

需要注意的是，EDS分析的定量結(jié)果通常受到一些因素的影響，例如樣品的形狀和結(jié)構(gòu)、元素的深度分布、X射線的散射等。因此，在進行定量分析時，需要進行相應(yīng)的校正和考慮這些因素。

通過EDS技術(shù)，可以在掃描電鏡成像中獲得樣品的局部化學(xué)成分信息，從而更全地了解樣品的組成和特性。