掃描電鏡原理及操作指南
日期:2024-02-05 09:24:17 瀏覽次數(shù):42
一、掃描電鏡概述
掃描電鏡(Scanning Electron Microscope,SEM)是一種利用電場(chǎng)和磁場(chǎng)相互作用,使樣品表面的原子或分子在電場(chǎng)中產(chǎn)生漂移,然后通過磁場(chǎng)使這些原子或分子重新排列,*終形成一幅關(guān)于樣品表面結(jié)構(gòu)的圖像的顯微鏡。掃描電鏡具有高放大倍數(shù)、高分辨率、高靈敏度和廣泛的應(yīng)用范圍等優(yōu)點(diǎn),已成為科學(xué)研究領(lǐng)域中不可或缺的重要工具。
二、掃描電鏡原理
1. 工作原理
掃描電鏡的工作原理是基于電子的衍射現(xiàn)象。當(dāng)電子束經(jīng)過樣品表面時(shí),會(huì)受到表面原子或分子的散射和吸收,從而改變電子的能量和軌跡。通過對(duì)電子能量和軌跡的測(cè)量,可以得到樣品表面的結(jié)構(gòu)信息。
2. 主要部件
掃描電鏡主要由光源、光闌、樣品平臺(tái)、掃描線圈、電磁鐵、聚焦極和檢測(cè)器等部分組成。其中,光源是提供電子束的能量來源;光闌用于調(diào)節(jié)電子束的強(qiáng)度;樣品平臺(tái)用于放置待測(cè)樣品;掃描線圈用于控制電子束的運(yùn)動(dòng)軌跡;電磁鐵用于改變樣品表面的電場(chǎng)分布;聚焦極用于調(diào)整電子束的聚焦效果;檢測(cè)器用于接收并處理電子束產(chǎn)生的信號(hào)。
三、掃描電鏡操作步驟
1. 準(zhǔn)備樣品
將待測(cè)樣品均勻涂覆在金屬襯底上,用去離子水清洗掉表面的雜質(zhì)和油污。然后將樣品固定在樣品平臺(tái)上,確保樣品表面平整且無氣泡。
2. 安裝掃描電鏡
將掃描電鏡按照說明書的要求組裝好,連接電源線和數(shù)據(jù)線。然后打開電源開關(guān),等待儀器自檢完成。
3. 調(diào)節(jié)參數(shù)
根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求,調(diào)整光源強(qiáng)度、光闌大小、掃描速度等參數(shù)。同時(shí),選擇合適的透射模式(如透射或反射)。
4. 觀察樣品圖像
將待測(cè)樣品放在樣品平臺(tái)上,調(diào)整聚焦極的位置,使樣品表面盡可能亮。然后按下“觀察”鍵,開始觀察樣品圖像。在觀察過程中,可以通過調(diào)整焦距和光圈來改變圖像的清晰度。
5. 數(shù)據(jù)采集與分析
按下“采集”鍵開始數(shù)據(jù)采集。采集完成后,可以將數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)進(jìn)行后續(xù)的分析處理。常用的分析軟件有ImageJ、Origin等。
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