SEM掃描電鏡（Scanning Electron Microscope）是一種通過(guò)掃描樣品表面并檢測(cè)所產(chǎn)生的信號(hào)來(lái)獲取樣品微觀形貌和成分信息的儀器。它屬于電子顯微鏡的一種，與傳統(tǒng)的透射電子顯微鏡相比，其主要特點(diǎn)是能夠獲得樣品表面的高分辨率圖像，并能夠同時(shí)分析樣品的元素組成。

根據(jù)SEM的工作原理和應(yīng)用領(lǐng)域的不同，可以將SEM分為以下幾個(gè)類(lèi)別：

1. 傳統(tǒng)掃描電鏡（Conventional SEM）：傳統(tǒng)SEM使用電子束來(lái)掃描樣品表面，并通過(guò)檢測(cè)來(lái)自樣品表面的二次電子、反射電子或能量散射電子等信號(hào)，以獲得樣品表面的形貌信息。該類(lèi)別的SEM通常具有較高的分辨率和較寬的工作距離，廣泛應(yīng)用于物理、材料、生命科學(xué)等領(lǐng)域的樣品表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)分析。

2. 環(huán)境掃描電鏡（Environmental SEM）：環(huán)境SEM是在對(duì)樣品進(jìn)行真空處理之前或期間，通過(guò)在SEM的樣品室中維持一定的濕度和氣氛條件來(lái)觀察樣品的形貌和表面性質(zhì)。該類(lèi)別的SEM可以在接近真實(shí)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行觀察，適用于生物樣品、濕潤(rùn)樣品以及對(duì)水分敏感的樣品等。

3. 高分辨率掃描電鏡（High-resolution SEM）：高分辨率SEM通過(guò)使用更高的電子能量和更高的波長(zhǎng)來(lái)提高圖像的分辨率。它通常具有更高的分辨率、更好的深度信息和更高的表面靈敏度，可以更清晰地觀察樣品的細(xì)微結(jié)構(gòu)和表面形態(tài)。

SEM掃描電鏡在科學(xué)研究、材料分析、制造業(yè)、生命科學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。它可以用于研究納米級(jí)顆粒、晶體表面形貌、材料的結(jié)構(gòu)和成分分析、生物細(xì)胞和組織的形態(tài)觀察等。

SEM掃描電鏡是一種用于觀察樣品微觀形貌和成分分析的重要工具，根據(jù)其工作原理和應(yīng)用領(lǐng)域的不同，可以分為傳統(tǒng)掃描電鏡、環(huán)境掃描電鏡和高分辨率掃描電鏡等類(lèi)別。它在科學(xué)研究和產(chǎn)業(yè)應(yīng)用中發(fā)揮著重要的作用，為我們深入了解和研究微觀世界提供了強(qiáng)大的支持。