掃描電鏡大家并不陌生，在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有廣泛應(yīng)用，它比普通顯微鏡貴很多，所以sem掃描電鏡的日常維護(hù)更為重要。下面由小編介紹下它的日常維護(hù)方法：

1.保持掃描電鏡的操作臺(tái)面整潔，不允許身體倚靠，凍水機(jī)等裝置不可放置重物。

2.開(kāi)機(jī)時(shí)一定要先開(kāi)水冷系統(tǒng),并要檢查冷卻水的溫度，關(guān)機(jī)至少15分鐘后才能關(guān)閉冷卻水。

3.進(jìn)樣品時(shí),檢查Z軸和T軸的位置，緩緩關(guān)閉樣品室,確保進(jìn)樣倉(cāng)門(mén)徹底關(guān)閉,才可點(diǎn)擊EVAC按鈕抽氣。

4.移動(dòng)樣品，通過(guò)配合移動(dòng)Stage Driver 將載物臺(tái)向X軸和Y軸方向移動(dòng)，從而移動(dòng)樣品，并保證小于更大允許值。

5.傾斜樣品，-10°~+45°，要十分當(dāng)心，不要撞壞探頭。要根據(jù)樣品臺(tái)和樣品狀況選擇傾斜角度，注樣品可傾斜的更大安全角度要小于允許值，防止樣品撞傷物鏡尤靴。

6.用BSE探頭時(shí)不可傾斜樣品臺(tái)。

7.樣品只有在加速電壓關(guān)閉的情況下才可取出，不作樣品掃描時(shí)要關(guān)閉高壓。

8.放氣時(shí)HT要處于關(guān)閉狀態(tài)，要等待120秒后才可輕輕拉開(kāi)樣品交換倉(cāng)的門(mén)。

9.更換鎢燈絲時(shí)， 等待兩分鐘時(shí)間，然后打開(kāi)電子槍?zhuān)脤?zhuān)門(mén)的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩，以免被燙傷。

10.sem掃描電鏡需要手動(dòng)調(diào)節(jié)的部分主要有光闌,象散，工作距離調(diào)節(jié)的旋鈕等，其他部件不允許調(diào)整。

11. 每周加兩到三次液氮，兩次間隔不超過(guò)四天。

上面11條內(nèi)容就是小編整理的掃描電鏡的日常維護(hù)方法，更多關(guān)于sem掃描電鏡的問(wèn)題歡迎撥打網(wǎng)站上面的電話咨詢小編。