SEM掃描電鏡對磁性樣品的掃描需要注意一些特殊的問題。下面是對于磁性樣品掃描的幾點(diǎn)建議：

準(zhǔn)備磁性樣品時(shí)應(yīng)盡量避免使用磁性工具，避免對樣品磁性的影響。

在掃描前，應(yīng)使用磁場消磁器對磁性樣品進(jìn)行去磁處理，以降低樣品表面的磁性干擾信號。需要注意的是，消磁強(qiáng)度應(yīng)根據(jù)樣品的不同磁性特性來調(diào)整。

在掃描過程中，應(yīng)選擇適當(dāng)?shù)募铀匐妷汉吞綔y器，并減少樣品燒傷和電荷積累現(xiàn)象。

掃描電鏡掃描磁性樣品時(shí)，電子束的熱效應(yīng)可能會導(dǎo)致樣品表面的磁性變化。為了避免這種影響，應(yīng)使用低電流密度的電子束，同時(shí)控制掃描時(shí)間，盡可能縮短掃描時(shí)間。

為了保護(hù)SEM掃描電鏡的零件不受磁化，應(yīng)在樣品掃描過程中使用非磁性的夾具和支撐物。

掃描磁性樣品時(shí)需要注意的主要問題是消除磁性干擾信號和減少樣品表面燒傷、電荷積累等影響，同時(shí)保護(hù)掃描電鏡不受磁化影響。