SEM掃描電鏡被廣泛的使用于各類(lèi)材料的形態(tài)結(jié)構(gòu)研究
日期:2023-05-09 09:23:14 瀏覽次數(shù):82
掃描電鏡如今被廣泛的使用于各類(lèi)材料的形態(tài)結(jié)構(gòu)、界面狀況、損傷機(jī)制及材料性能測(cè)試等領(lǐng)域的研究。儀器主要由七大系統(tǒng)組成,即電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)。其中重要的三個(gè)系統(tǒng)是電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。
SEM掃描電鏡的日常維護(hù):
1、保持掃描電鏡操作臺(tái)面整潔,不允許身體倚靠,凍水機(jī)等裝置不可放置重物;
2、開(kāi)機(jī)時(shí)一定要先開(kāi)水冷系統(tǒng),并要檢查冷卻水的溫度,關(guān)機(jī)至少15分鐘后才能關(guān)閉冷卻水;
3、進(jìn)樣品時(shí),檢查Z軸和T軸的位置、緩緩關(guān)閉樣品室,確保進(jìn)樣倉(cāng)門(mén)徹底關(guān)閉,才可點(diǎn)擊EVAC按鈕抽氣;
4、移動(dòng)樣品,通過(guò)配合移動(dòng)StageDriver將載物臺(tái)向X軸和Y軸方向移動(dòng),從而移動(dòng)樣品,并保證小于大允許值;
5、傾斜樣品,-10°~+45°,要十分當(dāng)心,不要撞壞探頭。要根據(jù)樣品臺(tái)和樣品狀況選擇傾斜角度,注樣品可傾斜的大安全角度要小于允許值,防止樣品撞傷物鏡極靴;
6、用BSE探頭時(shí)不可傾斜樣品臺(tái);
7、樣品只有在加速電壓關(guān)閉的情況下才可取出,不作樣品掃描時(shí)要關(guān)閉高壓;
8、放氣時(shí)HT要處于關(guān)閉狀態(tài),一定要等待120秒后才可輕輕拉開(kāi)樣品交換倉(cāng)的門(mén);
9、更換鎢燈絲時(shí),等待兩分鐘時(shí)間,然后打開(kāi)電子槍?zhuān)脤?zhuān)門(mén)的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩,以免被燙傷;
10、SEM掃描電鏡需要手動(dòng)調(diào)節(jié)的部分主要有光闌,象散,工作距離調(diào)節(jié)的旋鈕等,其他部件不允許調(diào)整;
11、每周加兩到三次液氮,兩次間隔不超過(guò)四天。
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