臺(tái)式SEM掃描電鏡樣品表面處理技術(shù)的介紹
日期:2023-05-12 09:03:08 瀏覽次數(shù):86
臺(tái)式掃描電鏡樣品的表面處理技術(shù)通常包括以下幾種:
氣體吹掃法:利用氣體吹掃去除表面灰塵和雜質(zhì),可以使用壓縮空氣或氮?dú)獾葰怏w進(jìn)行吹掃。
離子打磨法:利用高速離子束對(duì)樣品表面進(jìn)行打磨和清洗,可以去除表面污染和氧化物等。
金屬噴涂法:在樣品表面噴涂一層導(dǎo)電金屬,如金、銀或銅等,可以提高SEM掃描電鏡的成像質(zhì)量,因?yàn)榻饘倌軌蛱岣弑砻娴膶?dǎo)電性。
碳膜噴涂法:在樣品表面噴涂一層碳膜,可以提高樣品的表面平整度和導(dǎo)電性,適用于無法噴涂金屬的樣品。
冷凍法:將樣品放入液氮中冷凍,然后在真空中對(duì)樣品進(jìn)行表面處理,可以去除水分和有機(jī)物等雜質(zhì)。
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