臺(tái)式掃描電鏡樣品的表面處理技術(shù)通常包括以下幾種：

氣體吹掃法：利用氣體吹掃去除表面灰塵和雜質(zhì)，可以使用壓縮空氣或氮?dú)獾葰怏w進(jìn)行吹掃。

離子打磨法：利用高速離子束對(duì)樣品表面進(jìn)行打磨和清洗，可以去除表面污染和氧化物等。

金屬?lài)娡糠ǎ涸跇悠繁砻鎳娡恳粚訉?dǎo)電金屬，如金、銀或銅等，可以提高SEM掃描電鏡的成像質(zhì)量，因?yàn)榻饘倌軌蛱岣弑砻娴膶?dǎo)電性。

碳膜噴涂法：在樣品表面噴涂一層碳膜，可以提高樣品的表面平整度和導(dǎo)電性，適用于無(wú)法噴涂金屬的樣品。

冷凍法：將樣品放入液氮中冷凍，然后在真空中對(duì)樣品進(jìn)行表面處理，可以去除水分和有機(jī)物等雜質(zhì)。