SEM掃描電鏡即掃描電子顯微鏡，是一種常用的材料分析設備。其分類有以下幾種：

根據(jù)電子槍種類分類：

鎢燈絲掃描電鏡：是使用*普遍的掃描電鏡，具有抗干擾能力強、穩(wěn)定性好的優(yōu)點，適合形貌觀察、顯微結(jié)構(gòu)分析和斷口形貌分析等應用。

場發(fā)射電子槍掃描電鏡：根據(jù)光源性能可分為冷場發(fā)射掃描電鏡和熱場發(fā)射掃描電鏡。冷場發(fā)射掃描電鏡對真空條件要求高，束流不穩(wěn)定，發(fā)射體使用壽命短，應用范圍有限。熱場發(fā)射掃描電鏡則具有連續(xù)工作時間長、能與多種附件搭配實現(xiàn)綜合分析等優(yōu)點，應用廣泛。

六硼化鑭燈絲掃描電鏡：是另一種電子槍類型的掃描電鏡。

根據(jù)功能和應用分類：

傳統(tǒng)掃描電鏡（Conventional SEM）：使用電子束來掃描樣品表面，并通過檢測來自樣品表面的二次電子、反射電子或能量散射電子等信號，以獲得樣品表面的形貌信息。該類別的SEM通常具有較高的分辨率和較寬的工作距離，廣泛應用于物理、材料、生命科學等領域的樣品表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)分析。

此外，隨著技術的不斷發(fā)展，掃描電鏡也在不斷升級和改進。例如，現(xiàn)代掃描電鏡不僅追求高分辨率和高圖像質(zhì)量，還向復合型發(fā)展，即將掃描、透射及微區(qū)成分分析、電子背散射衍射等結(jié)合為一體的復合型電鏡，實現(xiàn)了表面形貌、微區(qū)成分和晶體結(jié)構(gòu)等多信息同位分析。

總之，掃描電子顯微鏡的分類多種多樣，不同類型的掃描電子顯微鏡在性能和應用上存在差異。選擇適合的掃描電鏡類型對于材料分析、科學研究等領域具有重要意義。